應(yīng)用于半導(dǎo)體/微細(xì)加工/分析儀器/微掃描/生物技術(shù)/光學(xué)領(lǐng)域壓電 ● 納米 ● 定位 ● 運(yùn)動 ● 控制 ● 系統(tǒng) ● 定制 ● 解決方案

壓電精瞄鏡 ∣ PT2M30-500S~2000S

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應(yīng)用領(lǐng)域：圖像處理/穩(wěn)定，光學(xué)捕獲，激光掃描/光束偏轉(zhuǎn)，激光調(diào)諧，激光束穩(wěn)定滿足：GJB150.4A-2009低溫實驗；滿足：GJB150.3A-2009高溫實驗；滿足：GJB150.16A-2009振動實驗；

咨詢服務(wù)熱線：

13062620377

規(guī)格型號¹	PT2M30					公差⁸
規(guī)格型號¹	500S-S	1000S-S	1300S-S	1500S-S	2000S-S	公差⁸
運(yùn)動軸	θx、θy	θx、θy	θx、θy	θx、θy	θx、θy	-
集成傳感器	SGS	SGS	SGS	SGS	SGS	-
標(biāo)稱行程范圍² （@0~+120V）	500”[Sec] ≈ 2.5 mrad	1000”[Sec] ≈ 5 mrad	1300”[Sec] ≈ 6.5 mrad	1500”[Sec] ≈ 7.5 mrad	2000”[Sec] ≈ 10 mrad	±10%
最大行程范圍² （@-20~+150V）	700”[Sec] ≈ 3.5 mrad	1300”[Sec] ≈ 6.5 mrad	1900”[Sec] ≈ 9.5 mrad	2000”[Sec] ≈ 10 mrad	2700”[Sec] ≈ 13.5 mrad	±20%
分辨率³	0.02 μrad	0.05 μrad	0.06 μrad	0.07 μrad	0.1 μrad	typ.
最小移動步長⁴	0.10 μrad	0.20 μrad	0.22 μrad	0.25 μrad	0.35 μrad	typ.
線性誤差	0.10 %	0.15%	0.2 %	0.25 %	0.25 %	typ.
重復(fù)定位精度	0.02 %	0.02 %	0.02 %	0.02 %	0.02 %	typ.
承載能力⁵	?25mm鏡片	?25mm鏡片	?25mm鏡片	?25mm鏡片	?25mm鏡片	typ.
諧振頻率（0g）	3700 Hz	3500 Hz	3300 Hz	3200 Hz	3100 Hz	±20%
驅(qū)動機(jī)構(gòu)	PZT	PZT	PZT	PZT	PZT	-
工作溫度范圍	-20~+80 ℃	-20~+80 ℃	-20~+80 ℃	-20~+80 ℃	-20~+80 ℃	typ.
線纜長度⁶	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	1.5 m	±10mm
外形尺寸（直徑×H）	30×30×38 mm	30×30×56 mm	30×30×65 mm	30×30×74 mm	30×30×92 mm	-
重量⁷	200 g	250 g	280 g	300 g	350 g	±5%
PZT&Sensor連接器	LEMO	LEMO	LEMO	LEMO	LEMO	-
本體材質(zhì)	鋼	鋼	鋼	鋼	鋼	-

注：所有規(guī)格參數(shù)基于室溫（22°C±3°C）測得，欲了解更多信息，請與我們聯(lián)系。表中“-”表示為不適用。

1.尾綴“-S”為閉環(huán)，內(nèi)置位置傳感器。開環(huán)尾綴不帶“-S，無線性誤差、重復(fù)度數(shù)據(jù)。

2.最大驅(qū)動電壓為-20V~+150V，對于高可靠的長期使用，建議驅(qū)動電壓在 0...+120V，更大行程請咨詢。出廠為標(biāo)稱行程。

3.分辨率即定位噪聲。因為壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)無摩擦，所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術(shù)的限制。通常使用RMS（1σ）值進(jìn)行測量和指定。

4.指通過干涉儀測得的壓電平臺可移動的最小步長值，它主要由壓電控制器的DAC分辨率決定。最佳情況下，參數(shù)表中為16-Bit對應(yīng)的位移步長值。

5.軸向載荷，更高的負(fù)載請咨詢，注意超出標(biāo)稱負(fù)荷會對柔性機(jī)構(gòu)造成損壞。

6.更長的線纜長度請咨詢。

7.臺體重量不包括線纜及連接器的重量。

8.公差中Max.表示最大值；typ.表示標(biāo)準(zhǔn)典型數(shù)據(jù)值，檢測報告中會給出實際的測量數(shù)據(jù)值。

圖片關(guān)鍵詞