電容測微儀 -- NMT.C3
任何導(dǎo)電體的非接觸式測量、極限分辨率為2.5nm 、帶寬2 kHz（-3dB）、重復(fù)性5nm、緊湊型傳感器設(shè)計(jì)（Φ10mm）、可集成在用戶設(shè)備中、適用于200μm的測量范圍
- 標(biāo)稱行程： 0~200μm
- 通道定制： 3~6通道
咨詢服務(wù)熱線：
13062620377型號 | NS.C3 |
通道數(shù) | 3 |
傳感器類型 | Capacitive |
量程范圍(max) | 200 μm |
參考距離 | 80 μm |
線性度1 | ±0.1 μm |
靜態(tài)分辨率（極限） | 0.0025 μm |
動(dòng)態(tài)1kHz分辨率 | 0.1 μm |
傳感器直徑 | 10 mm |
標(biāo)稱傳感器線纜長度 | 1.6 m ± 0.5 mm |
傳感器延長線纜（特型） | 2 m ± 0.5 mm |
靜態(tài)重復(fù)性 | 0.005 μm |
信號溫度穩(wěn)定性2 | ＜0.005% FSO/℃ |
長期穩(wěn)定性 | ＜0.04% FSO/month |
靈密度 | 50 mV/μm |
帶寬（-3dB） | 2 kHz |
傳感器輸出電壓 | 0 ... 10 VDC（測量范圍內(nèi)） |
控制器工作溫度范圍 （非真空部分） | +10至+50 ℃ |
探頭和線纜工作溫度范圍 （真空部分） | -50 to +150 °C |
電容真空接插件3 | SWH.0S.650.CTMSV（母對母） |
供電方式 | AC220V/50Hz |
1. 系統(tǒng)與傳感器匹配（出廠已校準(zhǔn)） 2. FSO =滿量程輸出 | |
產(chǎn)品應(yīng)用案例
安裝方式
