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壓電平移臺(tái) ∣ PS1H30-015U/030U/045U/060U

規(guī)格型號(hào)1PS1H30-015U-SPS1H30-030U-SPS1H30-045U-SPS1H30-060U-S公差8運(yùn)動(dòng)軸XXXX-集成傳感器SGSSGSSGSSGS-標(biāo)稱(chēng)行程范圍2(@0~+120V)15 μm30 μm45 μm60μm±5%最大行程范圍2(@-20~+150V)20 μm40 μm60 μm80 μm±20%分辨率30.1 nm0.2 nm0.3 nm0.4nmtyp.最

  • 運(yùn)動(dòng)方向: X軸/Z軸
  • 標(biāo)稱(chēng)行程: 15 μm(閉環(huán))
  • 外形尺寸: 44 ×30 ×15 mm
  • 承載能力: 垂直50N/水平20N

咨詢(xún)服務(wù)熱線(xiàn):

13062620377

規(guī)格型號(hào)1

PS1H30-015U-S

PS1H30-030U-S

PS1H30-045U-S

PS1H30-060U-S

公差8

運(yùn)動(dòng)軸

X

X

X

X

-

集成傳感器

SGS

SGS

SGS

SGS

-

標(biāo)稱(chēng)行程范圍2(@0~+120V)

15 μm

30 μm

45 μm

60μm

±5%

最大行程范圍2(@-20~+150V)

20 μm

40 μm

60 μm

80 μm

±20%

分辨率3

0.1 nm

0.2 nm

0.3 nm

0.4nm

typ.

最小移動(dòng)步長(zhǎng)4

0.5 nm

1 nm

1.5 nm

2 nm

typ.

線(xiàn)性誤差

0.02%~0.05%

0.1%

0.1%

0.1%

typ.

重復(fù)定位精度(全行程)

0.02%

0.05%

0.05%

0.05%

typ.

角擺偏差(俯仰/偏擺/滾轉(zhuǎn))

5 μrad

5 μrad

5 μrad

5 μrad

typ.

承載能力5

水平20 N、垂直50N

水平20 N、垂直50N

水平20 N、垂直50N

水平20 N、垂直50N

Max.

諧振頻率(0g)

3500 Hz

1400 Hz

1100 Hz

1000 Hz

±20%

運(yùn)動(dòng)方向剛度

40 N/μm

16 N/μm

11 N/μm

10 N/μm

±20%

運(yùn)動(dòng)方向推力/拉力

100N / 20N

100N / 20N

100N / 20N

100N / 20N

±20%

驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)

PZT

PZT

PZT

PZT

-

工作溫度范圍

-20~+80 ℃

-20~+80 ℃

-20~+80 ℃

-20~+80 ℃

typ.

線(xiàn)纜長(zhǎng)度6

1.5 m

1.5 m

1.5 m

1.5 m

±10mm

中空尺寸

-

-

-

-

-

外形尺寸(長(zhǎng)×寬×高)

44 ×30 ×15 mm

62×30 ×15 mm

80 ×30 ×15 mm

98 ×30 ×15 mm

-

重量7

131 g

170 g

300 g

380g

±5%

PZT&Sensor連接器

LEMO

LEMO

LEMO

LEMO

-

本體材質(zhì)

-

注:所有規(guī)格參數(shù)基于室溫(22°C±3°C)測(cè)得,欲了解更多信息,請(qǐng)與我們聯(lián)系。表中“-”表示為不適用。

1.尾綴“-S”為閉環(huán),內(nèi)置位置傳感器。開(kāi)環(huán)尾綴不帶“-S,無(wú)線(xiàn)性誤差、重復(fù)度數(shù)據(jù)。

2.最大驅(qū)動(dòng)電壓為-20V~+150V,對(duì)于高可靠的長(zhǎng)期使用,建議驅(qū)動(dòng)電壓在 0...+120V,更大行程請(qǐng)咨詢(xún)。出廠(chǎng)為標(biāo)稱(chēng)行程。

3.分辨率即定位噪聲。因?yàn)閴弘娞沾杉{米定位系統(tǒng)無(wú)摩擦,所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測(cè)量技術(shù)的限制。通常使用RMS(1σ)值進(jìn)行測(cè)量和指定。

閉環(huán)分辨率為傳感器噪聲,驅(qū)動(dòng)器電子噪聲和命令噪聲等的組合。

4.指通過(guò)干涉儀測(cè)得的壓電平臺(tái)可移動(dòng)的最小步長(zhǎng)值,它主要由壓電控制器的DAC分辨率決定。最佳情況下,參數(shù)表中為16-Bit對(duì)應(yīng)的位移步長(zhǎng)值。

5.軸向載荷,更高的負(fù)載請(qǐng)咨詢(xún),注意超出標(biāo)稱(chēng)負(fù)荷會(huì)對(duì)柔性機(jī)構(gòu)造成損壞。

6.更長(zhǎng)的線(xiàn)纜長(zhǎng)度請(qǐng)咨詢(xún)。

7.臺(tái)體重量不包括線(xiàn)纜及連接器的重量。

8.公差中Max.表示最大值;typ.表示標(biāo)準(zhǔn)典型數(shù)據(jù)值,檢測(cè)報(bào)告中會(huì)給出實(shí)際的測(cè)量數(shù)據(jù)值。

圖片關(guān)鍵詞


圖片關(guān)鍵詞

在線(xiàn)預(yù)定