壓電微分頭 ∣ PM1H13-020U
應(yīng)用領(lǐng)域：顯微鏡、納米定位、生物技術(shù)、測(cè)試應(yīng)用、半導(dǎo)體技術(shù)、光子、光纖定位
- 運(yùn)動(dòng)方向： X / Z軸
- 標(biāo)稱行程： 18 μm（閉環(huán)）
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13062620377產(chǎn)品型號(hào) | PM1H13-020U | PM1H13-020U-S | 公差 | 備注 | |
運(yùn)動(dòng)自由度 | X/Z | X/Z | - | - | |
傳感器類型 | - | Strain Gage | - | - | |
標(biāo)稱行程范圍（@0~+120V） | 18 μm | 18 μm | ±10% | - | |
最大行程范圍（@-20~+150V） | 20 μm | 20μm | ±20% | - | |
分辨率（壓電） | 0.6 nm | 0.6 nm | typ. | Note 1 | |
分辨率（微分頭） | 10 um | 10 um | typ. | ||
重復(fù)定位精度 | - | 0.1% F.S. | typ. | - | |
線性度 | - | 0.2% | typ. | - | |
空載階躍時(shí)間 | 1 ms | 2 ms | typ. | Note 2 | |
標(biāo)稱行程范圍@測(cè)微螺桿 | 13 mm | 13 mm | Max. | - | |
諧振頻率 | 0g | 2000 Hz | 2000 Hz | ±20% | Note 3 |
運(yùn)動(dòng)方向剛度 | 2 N/μm | 2 N/μm | ±20% | - | |
運(yùn)動(dòng)方向推力/拉力 | 20 N / 10 N | 20/ 10 N | ±20% | - | |
驅(qū)動(dòng)方式 | 壓電陶瓷 | 壓電陶瓷 | - | - | |
工作溫度范圍 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | - | - | |
線纜長(zhǎng)度 | 1.5 m / 軸 | 1.5 m / 軸 | ±10mm | Note 4 | |
外形尺寸(LxWxH) | 13*30*31mm （不包含測(cè)微螺桿尺寸） | 13*30*31mm （不包含測(cè)微螺桿尺寸） | - | - | |
重量 | 100 g | 100 g | ±5% | Note 5 | |
PZT & Sensor連接器 | LEMO | LEMO | - | Note 6 | |
線纜長(zhǎng)度 | 1.5m/軸 | 1.5m/軸 | ±10mm | - | |
本體材質(zhì) | 鋼 | 鋼 | - | - | |
Note：
1. 指實(shí)際分辨率，為PCS211S壓電控制器實(shí)際輸出電壓分辨率計(jì)算得出。（另，驅(qū)動(dòng)電壓輸出的紋波噪聲mVpp對(duì)應(yīng)的分辨率為理論分辨率，因?yàn)閴弘娞沾杉{米定位系統(tǒng)無(wú)摩擦，所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測(cè)量技術(shù)的限制。
2. 開環(huán)的階躍響應(yīng)時(shí)間與壓電控制器的驅(qū)動(dòng)電流有關(guān)。閉環(huán)的階躍響應(yīng)時(shí)間與閉環(huán)的調(diào)節(jié)有關(guān)。
3. 為壓電納米定位系統(tǒng)共振頻率，使用時(shí)應(yīng)避開此頻率，建議在負(fù)載對(duì)應(yīng)的諧振頻率80%下使用。
4. 線纜長(zhǎng)度可定制。
5. 臺(tái)體重量不包括線纜及連接器的重量。
6. 可定制連接器型號(hào)。
注：以上規(guī)格參數(shù)基于實(shí)驗(yàn)室環(huán)境測(cè)得。
