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壓電物鏡臺 ∣ PFV-300U

應用領域:超分辨率顯微鏡、光學圓盤顯微鏡、共聚焦顯微鏡、3D成像篩選、干涉測量

  • 運動方向: Z 軸
  • 標稱行程: 300 μm(閉環(huán))
  • 外形尺寸: 61 × 45 × 44 mm

咨詢服務熱線:

13062620377

規(guī)格型號1

PFV-300U

PFV-300U-S

公差8

運動軸

Z

Z

-

集成傳感器

-

SGS

-

標稱行程范圍2(@0~+120V)

300 μm

300 μm

±10%

最大行程范圍2(@-20~+150V)

340 μm

340 μm

±20%

分辨率3

3.0 nm

7.0 nm

typ.

最小移動步長4

10 nm

10 nm

typ.

線性誤差

-

0.05%

typ.

重復定位精度(全行程)

-

0.05%

typ.

角擺偏差(俯仰/偏擺/滾轉)

15 μrad

15 μrad

typ.

承載能力5

3 N

3 N

Max.

諧振頻率(0g)

150 Hz

150 Hz

±20%

運動方向剛度

0.25 N/μm

0.25 N/μm

±20%

運動方向推力/拉力

95N / 10N

95N / 10N

±20%

驅動機構

PZT

PZT

-

工作溫度范圍

-20~+80 ℃

-20~+80 ℃

typ.

線纜長度6

1.5 m

1.5 m

±10mm

螺紋適配

RMS, M25, M26, M27, M32

RMS, M25, M26, M27, M32

-

外形尺寸(長×寬×高)

61 × 45 × 44 mm

61 × 45 × 44 mm

-

重量7

400 g

400 g

±5%

PZT&Sensor連接器

LEMO

LEMO

-

本體材質

鋁、鋼

鋁、鋼

-

注:所有規(guī)格參數(shù)基于室溫(22°C±3°C)測得,欲了解更多信息,請與我們聯(lián)系。表中“-”表示為不適用。

1.尾綴“-S”為閉環(huán),內置位置傳感器。開環(huán)尾綴不帶“-S,無線性誤差、重復度數(shù)據(jù)。

2.最大驅動電壓為-20V~+150V,對于高可靠的長期使用,建議驅動電壓在 0...+120V,更大行程請咨詢。出廠為標稱行程。

3.分辨率即定位噪聲。因為壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)無摩擦,所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術的限制。通常使用RMS(1σ)值進行測量和指定。

4.指通過干涉儀測得的壓電平臺可移動的最小步長值,它主要由壓電控制器的DAC分辨率決定。最佳情況下,參數(shù)表中為16-Bit對應的位移步長值。

5.軸向載荷,更高的負載請咨詢,注意超出標稱負荷會對柔性機構造成損壞。

6.更長的線纜長度請咨詢。

7.臺體重量不包括線纜及連接器的重量。

8.公差中Max.表示最大值;typ.表示標準典型數(shù)據(jù)值,檢測報告中會給出實際的測量數(shù)據(jù)值。



圖片關鍵詞

在線預定