壓電掃描臺 ∣ PK3L80-200UA
應(yīng)用領(lǐng)域：顯微鏡、掩模/晶圓定位、干涉測量、測量技術(shù)、生物技術(shù)、掃描和篩選
- 運(yùn)動方向： XYZ軸
- 標(biāo)稱行程： 200μm x 200μm x 30μm
- 外形尺寸： 80 × 80 × 29 mm
- 中空尺寸： ?35 mm
咨詢服務(wù)熱線：
13062620377規(guī)格型號1 | PK3L80-200UA-S | PK3L80-200UB-S | PK3L80-200U-S | 公差8 |
運(yùn)動軸 | X、Y、Z | X、Y、Z | X、Y、Z | - |
集成傳感器 | SGS | SGS | SGS | - |
標(biāo)稱行程范圍2（@0~+120V） | 200μm x 200μm x 30μm | 200μm x 200μm x 80μm | 200μm x 200μm x 200μm | ±10% |
最大行程范圍2（@-20~+150V） | 240μm x 240μm x 40μm | 240μm x 240μm x 110μm | 240μm x 240μm x 240μm | ±20% |
分辨率3 | （XY）4.0nm、（Z）0.6nm | （XY）4.0nm、（Z）2.0nm | （XY）4.0nm、（Z）4.0nm | typ. |
最小移動步長4 | （XY）7.0 nm、（Z）1.0 nm | （XY）7.0 nm、（Z）3.0 nm | （XY）7.0 nm、（Z）7.0 nm | typ. |
線性誤差 | 0.05% | 0.05% | 0.05% | typ. |
重復(fù)定位精度（全行程） | 0.02% | 0.02% | 0.02% | typ. |
角擺偏差（俯仰/偏擺/滾轉(zhuǎn)） | 10 μrad | 10 μrad | 10 μrad | typ. |
承載能力5 | 6 N | 6 N | 5 N | Max. |
諧振頻率（0g） | （XYZ）150 Hz、200 Hz、230 Hz | （XYZ）140 Hz、180 Hz、210 Hz | （XYZ）130 Hz、160 Hz、200 Hz | ±20% |
運(yùn)動方向剛度 | 0.3 N/μm | 0.3 N/μm | 0.3 N/μm | ±20% |
運(yùn)動方向推力/拉力 | 30N / 10N | 30N / 10N | 30N / 10N | ±20% |
驅(qū)動機(jī)構(gòu) | PZT | PZT | PZT | - |
工作溫度范圍 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | typ. |
線纜長度6 | 1.5 m | 1.5 m | 1.5 m | ±10mm |
中空尺寸 | ?35 mm | ?35 mm | ?35 mm | - |
外形尺寸（長×寬×高） | 80 × 80 × 29 mm | 80 × 80 × 29 mm | 80 × 80 × 29 mm | - |
重量7 | 300 g | 330 g | 380 g | ±5% |
PZT&Sensor連接器 | LEMO | LEMO | LEMO | - |
本體材質(zhì) | 鋁、鋼 | 鋁、鋼 | 鋁、鋼 | - |
注：所有規(guī)格參數(shù)基于室溫（22°C±3°C）測得，欲了解更多信息，請與我們聯(lián)系。表中“-”表示為不適用。
1.尾綴“-S”為閉環(huán)，內(nèi)置位置傳感器。開環(huán)尾綴不帶“-S，無線性誤差、重復(fù)度數(shù)據(jù)。
2.最大驅(qū)動電壓為-20V~+150V，對于高可靠的長期使用，建議驅(qū)動電壓在 0...+120V，更大行程請咨詢。出廠為標(biāo)稱行程。
3.分辨率即定位噪聲。因?yàn)閴弘娞沾杉{米定位系統(tǒng)無摩擦，所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術(shù)的限制。通常使用RMS（1σ）值進(jìn)行測量和指定。
4.指通過干涉儀測得的壓電平臺可移動的最小步長值，它主要由壓電控制器的DAC分辨率決定。最佳情況下，參數(shù)表中為16-Bit對應(yīng)的位移步長值。
5.軸向載荷，更高的負(fù)載請咨詢，注意超出標(biāo)稱負(fù)荷會對柔性機(jī)構(gòu)造成損壞。
6.更長的線纜長度請咨詢。
7.臺體重量不包括線纜及連接器的重量。
8.公差中Max.表示最大值；typ.表示標(biāo)準(zhǔn)典型數(shù)據(jù)值，檢測報告中會給出實(shí)際的測量數(shù)據(jù)值。
