壓電掃描臺 ∣ PK2L150-100U
應用領域：顯微鏡、掩模/晶圓定位、干涉測量、測量技術、生物技術、掃描和篩選
- 運動方向： X、Y 軸
- 標稱行程： 100 x 100 μm（閉環(huán)）
- 外形尺寸： 150 ×150 × 30 mm
- 中空尺寸： 66 x 66 mm
- 承載能力： 20N
- 結構形式： 并聯放大式
咨詢服務熱線：
13062620377產品型號 | PK2L150-100U | PK2L150-100U-S | 公差 | 備注 | |
運動自由度 | X、Y | X、Y | - | - | |
傳感器類型 | - | Strain Gage | - | - | |
標稱行程范圍（@0~+120V） | 100 μm x 100 μm | 100 μm x 100 μm | ±10% | - | |
最大行程范圍（@-20~+150V） | 130 μm x 130 μm | 130 μm x 130 μm | ±20% | - | |
分辨率 | 3.5 nm / 軸 | 3.5 nm / 軸 | typ. | Note 1 | |
重復定位精度 | - | 0.05% F.S. | typ. | - | |
線性度 | - | 0.05% | typ. | - | |
空載階躍時間 | 1 ms | 5 ms | typ. | Note 2 | |
承載能力（推薦） | 20 N | 20 N | Max. | - | |
諧振頻率 | 0g | （XY）200 Hz、200 Hz | （XY）200 Hz、200 Hz | ±20% | Note 3 |
諧振頻率 | 200g | （XY）140 Hz、140 Hz | （XY）140 Hz、140 Hz | ±20% | - |
運動方向剛度 | 3 N/μm | 3 N/μm | ±20% | - | |
運動方向推力/拉力 | 150N / 15N | 150N / 15N | ±20% | - | |
驅動方式 | 壓電陶瓷 | 壓電陶瓷 | - | - | |
工作溫度范圍 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | - | - | |
線纜長度 | 1.5 m/軸 | 1.5 m/軸 | ±10mm | Note 4 | |
中空尺寸 | 66 mm x 66 mm | 66 mm x 66 mm | - | ||
外形尺寸(LxWxH) | 150 ×150 ×30 mm | 150 ×150 ×30 mm | - | - | |
重量 | 1300 g | 1300 g | ±5% | Note 5 | |
PZT & Sensor連接器 | LEMO | LEMO | - | Note 6 | |
本體材質 | 鋁 | 鋁 | - | - | |
Note：尾綴帶“S”的為閉環(huán)，尾綴為空為開環(huán)。
1. 指實際分辨率，為PCM231S壓電控制器實際輸出電壓分辨率計算得出。（另，驅動電壓輸出的紋波噪聲mVpp對應的分辨率為理論分辨率，因為壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)無摩擦，所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術的限制。即型號為PCM221S壓電控制器的驅動電壓紋波噪聲為2mVpp，則對應的壓電平臺的分辨率約為0.8nm）。
2. 開環(huán)的階躍響應時間與壓電控制器的驅動電流有關。閉環(huán)的階躍響應時間與閉環(huán)的調節(jié)有關。
3. 為壓電納米定位系統(tǒng)共振頻率，使用時應避開此頻率，建議在負載對應的諧振頻率80%下使用。
4. 線纜長度可定制。
5. 臺體重量不包括線纜及連接器的重量。
6. 可定制連接器型號。
注：以上規(guī)格參數基于實驗室環(huán)境測得。
