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壓電掃描臺(tái) ∣ PK3L140-100U

應(yīng)用領(lǐng)域:微納技術(shù)、干涉測(cè)量、測(cè)量技術(shù)、生物技術(shù)、掃描和篩選

  • 運(yùn)動(dòng)方向: X、Y、Z
  • 標(biāo)稱行程: 100μm x 100μm(閉環(huán))
  • 外形尺寸: 140 ×140 ×23.2 mm
  • 中空尺寸: RMS(可定制60x 60 mm)
  • 承載能力: 20N
  • 結(jié)構(gòu)形式: 并聯(lián)放大式

咨詢服務(wù)熱線:

13062620377

產(chǎn)品型號(hào)

PK2L140-100U

PK2L140-100U-S

公差

備注

運(yùn)動(dòng)自由度

X、Y

X、Y

-

-

傳感器類型

-

Strain Gage

-

-

標(biāo)稱行程范圍(@0~+120V)

100 μm x 100 μm

100 μm x 100 μm

±10%

-

最大行程范圍(@-20~+150V)

130 μm x 130 μm

130 μm x 130 μm

±20%

-

分辨率

3.5 nm / 軸

3.5 nm / 軸

typ.

Note 1

重復(fù)定位精度

-

0.02% F.S. / 軸

typ.

-

線性度

-

  0.02% / 軸

typ.

-

空載階躍時(shí)間

2 ms

5 ms

typ.

Note 2

承載能力(推薦)

20 N

20 N

Max.

-

諧振頻率

0g

(XY)750 Hz

(XY)750 Hz

±20%

Note 3

諧振頻率

200g

(XY)550 Hz

(XY)550 Hz

±20%

-

運(yùn)動(dòng)方向剛度

(XY)3.3 N/μm

(XY)3.3 N/μm

±20%

-

運(yùn)動(dòng)方向推力/拉力

100N / 20N

100N / 20N

±20%

-

驅(qū)動(dòng)方式

壓電陶瓷

壓電陶瓷

-

-

工作溫度范圍

0~+50 ℃

0~+50 ℃

-

-

線纜長(zhǎng)度

1.5 m/軸

1.5 m/軸

±10mm

Note 4

中空尺寸(LxW)

RMS(可定制60 x 60 mm)

RMS(可定制60 x 60 mm)

Max.


外形尺寸(LxWxH)

140 ×140 ×23.2 mm

140 ×140 ×23.2 mm

-

-

重量

900 g

900 g

±5%

Note 5

PZT & Sensor連接器

LEMO

LEMO

-

Note 6

本體材質(zhì)

-

-

Note尾綴帶“S”的為閉環(huán),尾綴為空為開環(huán)。

1. 指實(shí)際分辨率,為PCM931S壓電控制器實(shí)際輸出電壓分辨率計(jì)算得出。(另,驅(qū)動(dòng)電壓輸出的紋波噪聲mVpp對(duì)應(yīng)的分辨率為理論分辨率,因?yàn)閴弘娞沾杉{米定位系統(tǒng)無(wú)摩擦,所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測(cè)量技術(shù)的限制。即型號(hào)為PCM931S壓電控制器的驅(qū)動(dòng)電壓紋波噪聲為2mVpp,則對(duì)應(yīng)的壓電平臺(tái)的分辨率約0.8nm)。

2. 開環(huán)的階躍響應(yīng)時(shí)間與壓電控制器的驅(qū)動(dòng)電流有關(guān)。閉環(huán)的階躍響應(yīng)時(shí)間與閉環(huán)的調(diào)節(jié)有關(guān)。

3. 為壓電納米定位系統(tǒng)共振頻率,使用時(shí)應(yīng)避開此頻率,建議在負(fù)載對(duì)應(yīng)的諧振頻率80%下使用。

4. 線纜長(zhǎng)度可定制。

5. 臺(tái)體重量包括線纜及連接器的重量。

6. 可定制連接器型號(hào)。

注:以上規(guī)格參數(shù)基于實(shí)驗(yàn)室環(huán)境測(cè)得。




圖片關(guān)鍵詞

在線預(yù)定